โรงงานผลิตเครื่องอัดก๊าซฮีเลียมของจีน: โซลูชันการรั่วไหลต่ำสำหรับงานด้านเซมิคอนดักเตอร์และงานด้านความเย็นจัด โดยซัพพลายเออร์ชั้นนำ

คอมเพรสเซอร์แบบไดอะแฟรมใช้ไดอะแฟรมโลหะเพื่อแยกน้ำมันไฮดรอลิกออกจากก๊าซอัดอย่างสมบูรณ์ ทำให้ไม่มีการหล่อลื่นใดๆ ในกระบอกสูบ คุณสมบัตินี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าฮีเลียมจะไม่ปนเปื้อนด้วยน้ำมันใดๆ ในระหว่างการอัด รักษาความบริสุทธิ์สูงมากถึงกว่า 99.999% ซึ่งตรงตามข้อกำหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ และการแพทย์อย่างครบถ้วน

ก๊าซถูกปิดผนึกอยู่ภายในห้องที่เกิดจากไดอะแฟรมและฝาสูบ ซึ่งเป็นโครงสร้างการปิดผนึกแบบคงที่ที่ป้องกันการรั่วไหลของก๊าซได้อย่างมีประสิทธิภาพ นี่เป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งในการป้องกันการสูญเสียฮีเลียมที่มีราคาแพง ในขณะเดียวกัน คอมเพรสเซอร์ประเภทนี้ยังมีอัตราส่วนการอัดแบบขั้นเดียวที่สูง ทำให้สามารถสร้างแรงดันปล่อยได้ถึง 50 MPa หรือสูงกว่านั้นด้วยจำนวนขั้นที่น้อยกว่า ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการบรรจุและขนส่งฮีเลียมแรงดันสูง

เนื่องจากฮีเลียมมีดัชนีอะเดียแบติกสูงและอุณหภูมิเพิ่มขึ้นอย่างมากระหว่างการอัด การออกแบบจึงต้องควบคุมอัตราส่วนการอัดแบบขั้นตอนเดียวอย่างเข้มงวดเพื่อป้องกันอุณหภูมิการปล่อยที่สูงเกินไป ซึ่งอาจส่งผลต่อเสถียรภาพของอุปกรณ์และอายุการใช้งานของไดอะแฟรม ต้องจัดให้มีระบบระบายความร้อนระหว่างขั้นตอนและระบบระบายความร้อนขั้นสุดท้ายที่มีประสิทธิภาพ (ระบายความร้อนด้วยน้ำหรือระบายความร้อนด้วยอากาศ) เพื่อให้กระบวนการอัดใกล้เคียงกับกระบวนการอุณหภูมิคงที่มากที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ และควบคุมการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ชิ้นส่วนทั้งหมดที่สัมผัสกับฮีเลียมควรทำจากวัสดุที่เหมาะสม เช่น สแตนเลสคุณภาพสูง (เช่น 304, 316L) ในระหว่างการผลิตและการประกอบ ชิ้นส่วนเหล่านี้ต้องผ่านกระบวนการขจัดคราบไขมัน ทำความสะอาด และทำให้แห้งอย่างเข้มงวด เพื่อกำจัดแหล่งที่มาของการปนเปื้อนที่อาจเกิดขึ้น และเพื่อให้มั่นใจในความบริสุทธิ์เริ่มต้นของก๊าซ

ต้องติดตั้งอุปกรณ์ตรวจสอบและแจ้งเตือนการฉีกขาดของไดอะแฟรม เพื่อส่งสัญญาณเตือนทันทีเมื่อไดอะแฟรมเสียหาย ป้องกันการผสมกันของน้ำมันและก๊าซ ระบบควรติดตั้งวาล์วนิรภัยในแต่ละขั้นตอนเพื่อป้องกันแรงดันเกิน