เครื่องอัดไฮโดรเจนโบรไมด์ - อุปกรณ์ความบริสุทธิ์สูงและปลอดภัยจากผู้ผลิตและโรงงานในประเทศจีน สำหรับอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ข้อดีของคอมเพรสเซอร์ไดอะแฟรมไฮโดรเจนโบรไมด์
รับประกันว่าปราศจากน้ำมันโดยสิ้นเชิงและไม่มีการรั่วไหล
แผ่นไดอะแฟรมโลหะที่เป็นเอกลักษณ์นี้จะแยกก๊าซกระบวนการออกจากระบบน้ำมันไฮดรอลิกอย่างสมบูรณ์ ทำให้ได้การอัดอากาศแบบปราศจากน้ำมัน 100% ห้องก๊าซทั้งหมดใช้โครงสร้างการปิดผนึกแบบคงที่ ช่วยขจัดความเสี่ยงจากการรั่วไหลของก๊าซไฮโดรเจนโบรไมด์ออกภายนอกหรือสิ่งเจือปนภายนอกแทรกซึมเข้าไปภายในได้อย่างสิ้นเชิง ตอบสนองความต้องการความบริสุทธิ์สูงมากในการกัดเซาะเซมิคอนดักเตอร์และการใช้งานที่คล้ายคลึงกันได้อย่างสมบูรณ์แบบ
แพลตฟอร์มที่ปลอดภัยโดยเนื้อแท้และทนต่อการกัดกร่อน
ชิ้นส่วนที่สัมผัสกับก๊าซทั้งหมดสามารถผลิตจากโลหะผสมคุณภาพสูงที่ทนต่อการกัดกร่อนได้ ก๊าซจะสัมผัสเฉพาะพื้นผิวป้องกันการกัดกร่อนที่คัดสรรมาอย่างดีเท่านั้น ซึ่งช่วยหลีกเลี่ยงปัญหาการกัดกร่อนและการสึกหรอที่ซับซ้อนซึ่งเกี่ยวข้องกับซีลแบบไดนามิกในคอมเพรสเซอร์แบบลูกสูบ ส่งผลให้มีอายุการใช้งานของอุปกรณ์ยาวนานและช่วงเวลาการบำรุงรักษาที่ยาวนานขึ้นอย่างมาก
จุดออกแบบสำคัญสำหรับคอมเพรสเซอร์ไดอะแฟรมไฮโดรเจนโบรไมด์
วัสดุทนการกัดกร่อนแบบครบชุด
ชิ้นส่วนทั้งหมดที่สัมผัสกับไฮโดรเจนโบรไมด์ รวมถึงหัวไดอะแฟรม ฝาสูบ วาล์วแก๊ส ท่อภายใน และหน้าแปลน ต้องทำจากวัสดุที่ทนต่อการกัดกร่อนของกรดไฮโดรโบรไมด์ เหล็กกล้าไร้สนิม SS316L เป็นตัวเลือกพื้นฐาน สำหรับสภาวะที่รุนแรงที่มีความชื้นสูงหรือสิ่งเจือปนที่ทำให้เกิดออกซิเดชันอื่นๆ จำเป็นต้องมีการประเมินและยกระดับเป็นเหล็กกล้าไร้สนิมดูเพล็กซ์หรือโลหะผสมนิกเกล ชิ้นส่วนเหล็กกล้าไร้สนิมทั้งหมดต้องมีค่าเผื่อการกัดกร่อนที่เพียงพอ (โดยทั่วไปไม่น้อยกว่า 2 มม.) และต้องผ่านกระบวนการขจัดคราบไขมัน การทำความสะอาด และการเคลือบผิวอย่างละเอียด
การตรวจสอบไดอะแฟรมแกนกลางและการฉีกขาด
ไดอะแฟรมเป็นส่วนประกอบหลักสำหรับการแยกและปิดผนึก วัสดุที่เลือกใช้ต้องมีความทนทานต่อการกัดกร่อนในสภาพแวดล้อมที่มีไฮโดรเจนโบรไมด์สูงและมีความแข็งแรงต่อความล้าสูง เช่น โลหะผสมพิเศษอย่างอินโคเนล 718 โครงสร้างไดอะแฟรมแบบสามชั้นมาตรฐานพร้อมอุปกรณ์เตือนการฉีกขาดของไดอะแฟรมเป็นสิ่งจำเป็น เมื่อไดอะแฟรมชั้นกลางฉีกขาด เซ็นเซอร์ความดันจะส่งสัญญาณเตือนให้ซ่อมบำรุงทันที ในขณะที่ไดอะแฟรมชั้นนอกยังคงป้องกันการรั่วไหลของก๊าซ ทำให้มีการป้องกันความปลอดภัยสองชั้น
ระบบการปล่อยและตรวจสอบความปลอดภัยแบบบูรณาการ
ก๊าซไอเสียที่มีไฮโดรเจนโบรไมด์จากวาล์วนิรภัยจะต้องไม่ถูกปล่อยสู่บรรยากาศหรือเปลวไฟโดยตรง จะต้องถูกส่งไปยังเครื่องดักจับสารเคมีด่างเฉพาะเพื่อทำการบำบัดให้เป็นกลาง จะต้องติดตั้งหัววัดตรวจจับก๊าซไฮโดรเจนโบรไมด์แบบถาวรไว้ที่ชุดคอมเพรสเซอร์เพื่อตรวจสอบความเข้มข้นในอากาศแบบเรียลไทม์และเชื่อมต่อกับระบบระบายอากาศ พร้อมกันนี้ จะต้องตรวจสอบการไหลของน้ำหล่อเย็น ความดันน้ำมัน และความดันและอุณหภูมิในแต่ละขั้นตอนอย่างต่อเนื่อง โดยมีการกำหนดค่าตรรกะการแจ้งเตือนและการหยุดทำงานแบบครบวงจร
ใบรับรอง
การเลือกแบบจำลอง
| แบบอย่าง | G70Z / G95Z / G110Z / G130Z |
| ระยะชักลูกสูบ | 70 มม. ~ 130 มม. |
| แรงดันลูกสูบสูงสุด | 10KN ~ 30KN |
| แรงดันปล่อยสูงสุด | 70 เมกะปาสคาล |
| ช่วงการไหล | 1 ~ 500 นิวตันเมตร/ชั่วโมง |
| กำลังมอเตอร์ | 2.2KW ~ 30KW |
| ความเร็วเพลาข้อเหวี่ยง | 420 รอบต่อนาที |
| วิธีการทำความเย็น | ระบายความร้อนด้วยน้ำ / ระบายความร้อนด้วยอากาศ |
| แบบอย่าง | G70V / G95V / G130V |
| ระยะชักลูกสูบ | 70 มม. ~ 130 มม. |
| แรงดันลูกสูบสูงสุด | 10KN ~ 30KN |
| แรงดันปล่อยสูงสุด | 50 เมกะปาสคาล |
| ช่วงการไหล | 1 ~ 200 นิวตันเมตร/ชั่วโมง |
| กำลังมอเตอร์ | 2.2KW ~ 30KW |
| ความเร็วเพลาข้อเหวี่ยง | 420 รอบต่อนาที |
| วิธีการทำความเย็น | ระบายความร้อนด้วยน้ำ / ระบายความร้อนด้วยอากาศ |
| แบบอย่าง | จี110แอล / จี130แอล |
| ระยะชักลูกสูบ | 110 มม. ~ 130 มม. |
| แรงดันลูกสูบสูงสุด | 20KN ~ 40KN |
| แรงดันปล่อยสูงสุด | 100 เมกะปาสคาล |
| ช่วงการไหล | 10 ~ 1000 นิวตันเมตร³/ชม. |
| กำลังมอเตอร์ | 7.5KW ~ 90KW |
| ความเร็วเพลาข้อเหวี่ยง | 420 รอบต่อนาที |
| วิธีการทำความเย็น | ระบายความร้อนด้วยน้ำ / ระบายความร้อนด้วยอากาศ |
| แบบอย่าง | G110D / G130D / G150D / G180D / G182D / G210D |
| ระยะชักลูกสูบ | 110 มม. ~ 210 มม. |
| แรงดันลูกสูบสูงสุด | 20KN ~ 160KN |
| แรงดันปล่อยสูงสุด | 100 เมกะปาสคาล |
| ช่วงการไหล | 30 ~ 2000 นิวตันเมตร/ชั่วโมง |
| กำลังมอเตอร์ | 22KW ~ 200KW |
| ความเร็วเพลาข้อเหวี่ยง | 420 รอบต่อนาที |
| วิธีการทำความเย็น | ระบายความร้อนด้วยน้ำ / ระบายความร้อนด้วยอากาศ |
| เลขที่ | แบบอย่าง | น้ำหล่อเย็น | ไหล | แรงดันขาเข้า | แรงดันทางออก | มิติ | น้ำหนัก | กำลังมอเตอร์ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| (ลิตร/ชั่วโมง) | (นิวตันเมตร/ชั่วโมง) | (MPa) | (MPa) | ยาว×กว้าง×สูง (≈มม.) | (≈กิโลกรัม) | (กิโลวัตต์) | ||
| 1 | GZ-30/5-10 | 500 | 30 | 0.5 | 1 | 1400×740×1330 | 700 | 3 |
| 2 | GZ-12/0.5-8 | 500 | 12 | 0.05 | 0.8 | 1500×760×1200 | 750 | 4 |
| 3 | GZ-30/0.15-5 | 1000 | 30 | 0.015 | 0.5 | 1200×900×1200 | 800 | 7.5 |
| 4 | จีวี-30/1-3 | 1000 | 30 | 0.1 | 0.3 | 1400×900×1200 | 900 | 7.5 |
| 5 | GV-120/3.5-12 | 2000 | 120 | 0.35 | 1.2 | 2030×1045×1700 | 2200 | 22 |
| 6 | GV-120/3.5-12 | 2000 | 120 | 0.35 | 1.2 | 2030×1045×1700 | 3000 | 22 |
| 7 | GL-30/21 | 4200 | 30 | บรรยากาศ | 2.1 | 2200×1700×1800 | 2600 | 11 |
| 8 | GL-60/0.05-4 | 4000 | 60 | 0.005 | 0.4 | 2400×1800×1600 | 3000 | 15 |
| 9 | GL-150/0.3-5 | 2000 | 150 | 0.03 | 0.5 | 3230×1770×2200 | 3000 | 18.5 |
| 10 | G130D-278/1.1-3 | 2000 | 278 | 0.11 | 0.3 | 3000×2000×1800 | 4000 | 22 |
| 11 | จีดี-600/1.5-5 | 5000 | 600 | 0.15 | 0.5 | 3500×2300×1800 | 4500 | 45 |
| 12 | จีดี-1306/6-12 | 8000 | 1306 | 0.6 | 1.2 | 3800×2300×1800 | 6000 | 75 |
กรณีศึกษา
รัสเซีย
สหรัฐอเมริกา
สเปน
